CAS号: 75-59-2
产品名称: 四甲基氢氧化铵
产品基本信息及用途介绍:
一、物理化学性质
四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种强有机碱，常以无色透明的水溶液形式存在，常见浓度为10%至25%。在高温下（通常超过130°C）会分解生成三甲胺和甲醇。其固体形式为潮解性结晶，水溶液的密度约为1.01 g/cm3（随浓度变化）。由于是强电解质，其水溶液电导率高。
二、主要用途介绍

半导体工业：这是TMAH最主要的应用领域。它作为正性光刻胶的显影剂，曝光后的光刻胶溶解掉，从而在硅片上形成所需的电路图案，是集成电路制造中的关键化学品。其显影效果直接影响电路图形的分辨率和精度。

液晶显示（LCD）：在LCD制造中，用作液晶取向剂的涂布前的清洗剂和取向膜的处理剂，能确保液晶分子在基板表面实现均匀、有序的排列，这对显示器的对比度和视角至关重要。

有机合成：作为高效的催化剂和碱性试剂，用于酯化、水解、缩合等反应。由于其季铵碱的特性，在反应后可通过加热方便地分解除去，避免了金属离子的引入，特别适用于对金属杂质敏感的反应体系。

分析化学：作为滴定剂用于非水体系酸碱滴定，也用作离子对色谱的试剂，用于分离和分析酸性化合物。

其他领域：还用于电子元件的清洗、合成沸石的模板剂以及生物样品的组织切片处理（如作为去污剂和 contrasting agent）等。