1009-93-4 六甲基环三硅氮烷
名称:六甲基环三硅氮烷(HMCTS)。CAS:1009-93-4。外观:无色透明液体。
用途:① 在半导体和太阳能光伏行业,用作化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)的前驱体,制备氮化硅(Si3N4)介电薄膜或钝化层。② 用于合成有机硅化合物和硅氮聚合物。③ 作为表面处理剂,改善无机填料与有机聚合物的相容性。④ 在科研中用作硅烷化试剂。