四氯化铪 (Hafnium Tetrachloride)
CAS号: 13499-05-3
外观: 白色结晶固体,易潮解
用途:

金属铪前驱体: 通过还原反应生产高纯度金属铪,后者用于核反应堆控制棒和特种合金。

原子层沉积(ALD): 作为高κ介质材料(如二氧化铪)的前驱体,用于先进半导体制造中的栅极介质层。

陶瓷与催化剂: 用于制备耐高温的铪酸盐陶瓷;作为某些有机反应的催化剂。