五氟化钽(TaF5),相对分子量为276,熔点为96.8℃,沸点为229.5℃,是一种白色结晶,折光能力强。五氟化钽微溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中,溶于水和乙醚、氢氟酸、硝酸、发烟硝酸,在空气中吸湿而不水解。高纯五氟化钽在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜,制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。五氟化钽在电子元器件表面、半导体器件表面、钛及金属氮化物电极表面、金属钨表面上,可形成附着力极强、厚度为0.1μm级的绝缘薄膜,具有高的介电率。产品指标产品用途:五氟化钽在电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜,制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。包装方式:一般采用四氟瓶包装。