电子级氨基三甲叉膦酸ATMP
Electronic Grade Amino Trimethylene Phosphonic Acid (ATMP)
一、性能与用途电子级ATMP为酸性液体,具有很强的金属离子螯合能力,在半导体加工的研磨、抛光、蚀刻等工艺,可以提高研磨效率和光洁度,在显示面板、PCB板蚀刻加工过程中使用可以减少毛刺,提高铜箔表面光洁度。

二、技术指标项? 目指? 标
外 观 无色透明液体
活性(以ATMP计)/%≥50.0
单金属离子/ppb <10ppb(可根据客户需求定制)


三、包装与贮存


电子级ATMP用电子级塑料桶包装,每桶25kg、200kg,可根据客户需求定制。贮于室内阴凉处,贮存期为十二个月。
四、安全与防护


电子级ATMP为酸性液体,操作时注意劳动防护,应避免与皮肤、眼睛等接触,接触后应立即用大量清水冲洗。