乙醇钽
化学式:Ta(OC?H?)?CAS No:6074 - 84 - 6外观:透明或黄色液体或低熔点固体 ,可能有一定黏性纯度:99.99%用途:作为前驱体用于化学气相沉积(CVD)技术,制备含钽的薄膜材料,应用于微电子器件制造 等领域。分子结构式图片:
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化学式:?Ta(OC?H?)?

CAS号:??6074-84-6

外? ?观:?透明或黄色液体或低熔点固体,可能有一定黏性纯度:99.99%

用? ?途:?作为前驱体用于化学气相沉积(CVD)技术,制备含担的薄膜材料,应用于微电子器件制造等领域。